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新技術・技術紹介
imec、High NA EUVリソグラフィ向け22nmピッチの化学増幅レジスト拡張を発表、次世代マイクロチップ製造を加速
imec ベルギー 概要 imecは、High NA EUVリソグラフィにおける化学増幅レジストの拡張を発表しました。これは、22nmピッチのライン構造をシングルパターニングで実現するための重要な進歩であり、より小型で高速、かつ低コストで持続可能なマイクロチップ... -
市場動向
ナノインプリントリソグラフィ、10nm以下の次世代チップ製造で高解像度・低コスト・高スループットを実現
ChipXpert 国際 概要 ナノインプリントリソグラフィ(NIL)は、10nm以下の特徴サイズを持つ次世代半導体チップ製造において、高解像度、低コスト、高スループットを可能にする先進的なパターニング技術として注目されています。この技術は物理的にパターン... -
新技術・技術紹介
ナノインプリントリソグラフィ:ナノスケール製造の革新的アプローチ
AZoNano オーストラリア 概要 ナノインプリントリソグラフィ(NIL)は、光や電子ビームを使用せず、機械的なスタンプを用いてナノスケールのパターンを直接転写する先進的な製造技術です。この技術は、従来のフォトリソグラフィの限界を超えるサブ10nmの微...
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