プラズマ– tag –
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Meta FAIRとスタンフォード大学の研究者がUMAモデルのファインチューニングによりWS2の酸素プラズマ相互作用を高精度シミュレーション
arXiv アメリカ 概要 Meta FAIRとスタンフォード大学の研究者は、ユニバーサル機械学習原子間ポテンシャル（MLIP）であるUMAモデルをWS2の酸素プラズマ相互作用に特化してファインチューニングすることに成功しました。この研究は、プラズマ-表面相互作用... -
Meta FAIRの汎用MLIP「UMA」が2D材料の酸素プラズマ相互作用を高精度で予測、半導体製造に貢献
arXiv 不明 概要 Meta FAIRが開発した汎用機械学習ポテンシャル（MLIP）モデル「UMA」が、二次元材料である二硫化タングステン（WS2）と酸素プラズマの相互作用を高精度でモデリングし、さらに微調整によって予測性能を向上させることが示されました。この...
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