COMPANY PROFILE / ナノテクノロジー
EVグループ(EVG)
― 「押してナノパターンを複製する」インプリント装置と、ウェハーをナノメートル級の位置精度で貼り合わせる接合装置を、オーストリアから供給する非上場の装置メーカー
EV Group(以下EVG)は、ナノインプリントリソグラフィ(NIL)とウェハー接合の装置で知られる、オーストリアの装置メーカーです。1980年の創業で、従業員は1,700人超(会社の記載)。公式資料に株式上場の記載はなく、売上・利益などの財務は公表されていません。本稿は非上場として扱います。会社は、SmartNIL(同社のNIL技術)が40nm以下の解像度を量産で実証済みと説明しています(会社の説明)。また2026年5月には、imecと共同で、200nmの配線ピッチのウェハー同士のハイブリッド接合を発表しました(会社と研究機関の共同発表)。一方で、売上の規模、顧客別の売上、装置の販売台数は、本稿が確認した公式資料に載っていません。本稿は、何を作り、どこに投資し、誰と組み、どこまでが実績でどこからが計画かを、会社の公式サイトとニュースリリースの範囲で整理します。
- 30秒でわかるEV Groupと、ナノテクノロジーでの立ち位置
- ロゴと社名の表記について
- ナノテクノロジーの世界で、この会社はどこにいるか
- 会社の規模(開示されている範囲)
- ナノテクノロジーにかけているリソース
- これまでの取り組み
- 今後の計画
- この会社はナノテクノロジーで何を目指しているか
- ナノテクノロジー分野の提携マッピング
- 提供している技術・製品・サービス
- この企業が抱えるリスク
- 用語集/出典/主張と出典の対応表
1. 30秒でわかるEVグループと、ナノテクノロジーでの立ち位置
St. Florian am Inn1980年、Aya MariaとErich Thallnerが創業(会社の記載)
EVGの装置は、電子線や極端紫外線で「描く」のではなく、型(スタンプ)を樹脂に「押して」ナノパターンを複製する(NIL)か、ウェハーを重ねて貼り合わせる(接合)ものです。前者は、AR(拡張現実)メガネの導波路、メタレンズ(ナノ構造のレンズ)、マイクロ流体チップなどの大面積のナノ構造に、後者はAI向けチップなどの3D積層に使われると、会社は説明しています 事実。NILについて会社は「市場をリードする装置メーカー」と述べ、接合装置でも「主導的な地位と圧倒的なシェア」と書いていますが、数値の根拠は示されていません。本稿はこれを会社の主張として書き、事実としては扱いません。また、EVGは非上場で、財務の数値が公表されていないため、本稿の「規模」は、従業員数・施設の面積・拠点数など、公式資料で確認できる範囲に限ります。
2. ロゴと社名の表記について

表記の注意:社名は EV Group(略称 EVG)です。登記上の会社名は国や拠点ごとに異なり、公式サイトのImprintでは EV Group Europe & Asia/Pacific GmbH が発行者として示されています。SmartNIL、HERCULES、BONDSCALE、LITHOSCALE、ComBond などは製品名・技術名で、会社名ではありません。ロゴは、同社の公式サイトのヘッダーで使われているものを取得しました(もとの色は白で、暗い背景で使う版です)。
公式サイト:https://www.evgroup.com/3. ナノテクノロジーの世界で、この会社はどこにいるか
EVGの主たる類型はナノ加工・装置です。会社自身が「ナノテクノロジー・デバイス」を顧客分野の1つに挙げ、ナノ加工の装置とプロセスの提供を事業としています 事実(出典:出典3 https://www.evgroup.com/company/rd-projects 出典6 https://www.evgroup.com/products/nanoimprint-lithography)。どの材料・工程・用途が中心かを、同社の資料で確認できた範囲で整理します。
| 工程・技術 | ナノ加工での役割 | 会社が示す数値・用途(会社の説明) | 区分 |
|---|---|---|---|
| ナノインプリント(SmartNIL) | ソフトスタンプで、UV硬化樹脂にナノパターンを押して複製する。室温の工程。型は繰り返し使う | 量産で実証した解像度は40nm以下。ウェハー最大300mm、パネルにも対応。用途は、ARの導波路、回折光学素子、メタレンズ、マイクロ流体チップ、ワイヤグリッド偏光子 | 事実(会社の説明) |
| ステップ&リピート(NILのマスター作成) | 小さなマスター型を繰り返し押して、大面積のマスター(原版)を作る | EVG770 NTは、300mmウェハーとGen-2パネルまで拡張可能。マスター作成の受託サービス(S&R Mastering Shop)もある | 事実 |
| ハイブリッド・フュージョン接合 | ウェハーの誘電体層とCuパッドを貼り合わせ、機械的・電気的に接続する。3D積層の中核 | 位置合わせは100nm未満(会社の説明)。接続ピッチは1µm未満。2026年5月、imecと200nmピッチを共同実証、貼り合わせ後のずれ(オーバーレイ)は300mmウェハー全面の全ダイで40nm未満 | 事実(会社・imecの共同発表) |
| IR LayerRelease | 赤外レーザーで、シリコンの支持基板から極薄の層をナノメートル精度で剥がす | ガラス基板を使わずに先端パッケージを作れる。トランジスタの次世代構造(CFETなど)の薄層転写に使える、と会社が説明 | 事実(会社の説明) |
| リソグラフィ・計測(従) | マスクレス露光(LITHOSCALE)、レジスト処理、接合のオーバーレイ計測(EVG40 D2W) | LITHOSCALE XTは従来機の最大5倍の処理量(会社の主張)。EVG40 D2Wは300mmウェハーの全ダイのずれを測定 | 事実(会社の説明) |
表の数値はすべてメーカー公称で、測定法・試料・条件の詳細は公式ページに記載がありません。NILの解像度と接合のオーバーレイは、異なる技術の数値で、優劣を比べるものではありません。出典:出典5 https://www.evgroup.com/technologies/nanoimprint-lithography-smartnil 出典7 https://www.evgroup.com/technologies/fusion-and-hybrid-bonding 出典23 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-unlocks-agile-and-efficient-production-scaling-with-next-generation-step-and-repeat-nanoimprint-lithography-system 出典24 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-launches-first-of-its-kind-step-and-repeat-mastering-services-for-nanoimprint-lithography 出典10 https://www.evgroup.com/company/news/detail/imec-and-ev-group-demonstrate-wafer-to-wafer-hybrid-bonding-with-200nm-interconnect-pitch-and-record-high-overlay-accuracy 出典9 https://www.evgroup.com/technologies/ir-layerrelease-technology 出典34 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-brings-digital-lithography-to-heterogeneous-integration-hvm-applications-with-lithoscaler-xt 出典33 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-achieves-breakthrough-in-hybrid-bonding-overlay-control-for-chiplet-integration
4. 会社の規模(開示されている範囲)
EVGの売上・利益・総資産・受注残は、本稿が確認した公式資料では公表されていません 未確定/将来。そのため、下の表は従業員、施設、拠点など、公式資料から確認できる指標に限ります。
| 指標 | 値 | 注記 |
|---|---|---|
| 設立 | 1980年 | Aya MariaとErich Thallnerによる創業(会社の記載) |
| 従業員 | 1,700人超 | 世界全体。基準日の記載なし。2024年10月に、同年度(10月開始)に100人を大きく超える採用を計画と発表 |
| 会計年度 | 10月1日に開始 | 2024年10月24日の発表に「現在の会計年度は2024年10月1日に開始」と記載 |
| 本社の製造面積 | 8,100㎡超 | 2023年11月に完成した「Manufacturing V」で1,200㎡超を追加し、製造面積は合計8,100㎡超。倉庫も1,200㎡超を追加 |
| 本社の試験室 | 約2,800㎡ | 同時期に既存棟を改修し、試験室は9室増えて30%増加(顧客による装置の立会い検査にも使う) |
| クリーンルーム | Cleanroom Vで約620㎡を追加 | 2020年7月に完成。本社のクリーンルーム容量を「ほぼ倍増」と説明。投資額は3,000万ユーロ(2019年の発表) |
| 拠点 | 完全子会社:米・日・韓・中・台・シンガポール | 米国はアリゾナ、ニューメキシコ、オレゴン。日本は横浜と福岡。ほかにドイツ(Neuhaus)、マレーシア(ペナン、合弁)、イスラエル・北京などの販売代表 |
| 認証 | ISO 9001(2004年に初回取得)、ISO 14001に基づく環境マネジメントシステム | 会社の記載 |
出典:出典1 https://www.evgroup.com/company/about-evg 出典2 https://www.evgroup.com/company/global-presence 出典16 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-announces-management-board-expansion-in-light-of-unabated-growth 出典15 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-completes-construction-of-new-manufacturing-v-building-at-corporate-headquarters-to-expand-production-capacity 出典18 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-completes-construction-of-state-of-the-art-cleanroom-facility-at-corporate-headquarters-1595234788 出典17 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-invests-30-million-euros-for-capacity-expansion-at-corporate-headquarters-in-austria-1561360823 出典31 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-forms-subsidiary-in-singapore-to-strengthen-local-customer-support 出典30 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-dymek-company-form-joint-venture-company-in-malaysia-to-enhance-regional-customer-support
「世界最大」「圧倒的なシェア」といった表現は、会社の自己評価で、第三者の統計は添えられていません。会社の資料には、ウェハー接合の市場で「主導的な地位と圧倒的なシェア」、NILで「市場をリードする」とありますが、シェアの数値は載っていません 未確定/将来。従業員数の基準日、研究開発費、受注残も、確認できませんでした。
5. ナノテクノロジーにかけているリソース
ナノ加工だけを切り出した人員・研究開発費は開示されていません。以下は、会社全体の公式資料から確認できた範囲です。
| リソース | 一次情報で確認できた内容 | 区分 |
|---|---|---|
| 人 | 従業員は1,700人超。同年度(2024年10月開始)に、世界で100人を大きく超える採用を計画(2024年10月の発表)。研究開発の人員は非公表。経営執行委員は、創業者のErich ThallnerとAya Maria Thallner、Werner Thallner、Paul Lindner、Hermann Waltl、Alexander Rank(2024年10月に就任) | 事実/一部非公表 |
| 金(研究開発) | 研究開発費は非公表。公的な共同研究プロジェクトに参加(下の行を参照) | 確認できなかった |
| 金(設備投資) | 本社の拡張を継続:2019年に3,000万ユーロでCleanroom Vの建設を発表(2020年7月に完成)、2019年にManufacturing III(1,800㎡の製造フロア)、2023年11月にManufacturing V、2024年10月までにManufacturing VI。V・VIの投資額は非公表 | 事実/一部非公表 |
| 出資・買収・合弁・売却 | 2023年5月に、マレーシアでDymek Companyとの合弁(EV Group Malaysia Dymek。顧客支援が役割)。2025年5月にシンガポールの完全子会社を設立。2018年に、IBMからレーザー剥離の特許技術のライセンスを受ける合意。大型の買収・売却は、本稿の確認範囲では確認できなかった | 事実/確認できなかった |
| 大学・研究機関・公的資金 | imec(ベルギー)と接合の共同開発(2026年5月の発表)。Fraunhofer IZM-ASSID(ドイツ)と戦略的提携(2024年6月)。韓国のNNFC(国立ナノファブセンター)と覚書(2022年9月)。ベトナムの情報技術産業庁とPTITとの覚書(2025年3月)。ポーランドの研究機関CEZAMATがUV-NIL装置を導入(2026年4月。資金は同国の復興・強靱化計画)。公的な研究プロジェクト:TRANSFORM(SiC)、YESvGaN(GaN)、ID2PPAC(2nm世代)、HiCONNECTS、14AMI(CFET)など。公的資金の受取額は、本稿の確認範囲では確認できなかった | 事実/一部確認できなかった |
出典:出典1 https://www.evgroup.com/company/about-evg 出典16 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-announces-management-board-expansion-in-light-of-unabated-growth 出典17 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-invests-30-million-euros-for-capacity-expansion-at-corporate-headquarters-in-austria-1561360823 出典18 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-completes-construction-of-state-of-the-art-cleanroom-facility-at-corporate-headquarters-1595234788 出典15 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-completes-construction-of-new-manufacturing-v-building-at-corporate-headquarters-to-expand-production-capacity 出典30 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-dymek-company-form-joint-venture-company-in-malaysia-to-enhance-regional-customer-support 出典31 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-forms-subsidiary-in-singapore-to-strengthen-local-customer-support 出典29 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-ibm-sign-license-agreement-on-laser-debonding-technology-1556381389 出典10 https://www.evgroup.com/company/news/detail/imec-and-ev-group-demonstrate-wafer-to-wafer-hybrid-bonding-with-200nm-interconnect-pitch-and-record-high-overlay-accuracy 出典27 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-fraunhofer-izm-assid-expand-partnership-in-wafer-bonding-for-quantum-computing-applications 出典26 https://www.evgroup.com/company/news/detail/korea-national-nanofab-center-nnfc-and-ev-group-sign-memorandum-of-understanding-on-cooperation-in-nanotechnology-and-iot-sensors 出典32 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-vietnams-authority-of-information-technology-industry-and-ptit-sign-memorandum-of-understanding-to-advance-vietnams-semiconductor-capabilities 出典12 https://www.evgroup.com/company/news/detail/cezamat-boosts-advanced-photonics-rd-with-state-of-the-art-uv-nanoimprint-system-from-ev-group 出典3 https://www.evgroup.com/company/rd-projects
主要な製品・設備の状況
| 製品/設備 | 場所・内容 | 規模 | 段階 | 日付 | 出典 |
|---|---|---|---|---|---|
| HERCULES NIL 300mm | 洗浄・レジスト塗布・ベークとSmartNILを1台にまとめたNILのトラック装置 | 台数は非公表。「複数の注文を受けた」と会社が説明 | 発表(2019年)。HERCULES NILは2015年7月に量産向けとして発売 | 2019年6月11日 | 22・1 |
| HERCULES NIL 200mm(Tekscend Photomask Japan) | 埼玉県新座市のAsaka拠点。フォトマスクの会社がNILのライン開設 | 100〜200mmの基板に対応 | 導入・試作。2025年9月からの量産開始を計画(Tekscend Photomaskの説明)。実際の稼働は本稿では確認できなかった | 2025年7月 | 20 |
| EVG770 NT(ステップ&リピートNIL) | 大面積のマスター作成 | 300mmウェハー、Gen-2パネルまで拡張可能 | 発表。受託のマスター作成サービスも別に開始 | 2021年6月8日/21日 | 23・24 |
| EVG7300 | NIL、レンズ成形、レンズ積層を1台で | ウェハー最大300mm | 発表 | 2022年1月18日 | 25 |
| EVG6200 NT(CEZAMAT) | ワルシャワ工科大学の研究センターへの設置 | 研究用 | 設置 | 2026年4月21日 | 12 |
| EVG40 D2W | ダイ・ウェハー接合のオーバーレイ計測 | 全ダイ測定。従来機の最大15倍の処理量(会社の主張) | 発表。「複数台が顧客に設置済み」と会社が説明 | 2025年9月8日 | 33 |
| Manufacturing V/VI(本社) | オーストリア・St. Florian | 製造面積8,100㎡超(Vの完成後) | 完成(Vは2023年11月、VIは2024年10月までに) | 2023〜2024年 | 15・16 |
装置の累計販売台数と年間の製造能力は、製品別には開示されていません。
6. これまでの取り組み
| 時期 | できごと | 意味 |
|---|---|---|
| 1980年 | Aya MariaとErich Thallnerが創業 | 家族経営の出発点 |
| 1985〜1992年 | 1985年に、下面顕微鏡つきの両面マスクアライナーを開発。1990年に位置合わせと接合の工程を分離。1992年に、MEMS量産向けの接合装置を発売(いずれも会社の説明) | ウェハー接合の標準の工程の土台 |
| 2007年 | 300mmウェハー向けの、世界初の全自動の量産向け接合装置(会社の説明) | 大口径への対応 |
| 2015年7月 | HERCULES NILを発売し、NILを量産に引き上げた(会社の説明) | NIL事業の本格化 |
| 2018年3月 | IBMとレーザー剥離の技術ライセンスで合意 | 外部の特許を取り込む |
| 2019年6月 | HERCULES NIL 300mmを発表。本社のCleanroom Vの建設(3,000万ユーロ)を発表 | NILの300mm化、開発・試作の能力拡大 |
| 2020年3月〜7月 | Heterogeneous Integration Competence Centerを設立(3月)。Cleanroom Vが完成(7月) | 顧客との共同開発の場 |
| 2021年1月 | ASM Pacific Technologyと、ダイ・ウェハー接合の共同開発契約 | チップレット向けの接合 |
| 2021年6月 | EVG770 NT(ステップ&リピートNIL)を発表。マスター作成サービスを開始 | NILの原版を大面積で |
| 2022年1月・9月 | EVG7300を発表(1月)。Toppan Photomaskと、フォトニクス向けNILの共同販促(9月、非独占)。NNFCと覚書(9月) | NILの用途開拓、研究機関との連携 |
| 2023年5月・11月 | マレーシアで合弁(5月)。Manufacturing Vが完成(11月) | 顧客支援網と製造能力の拡大 |
| 2024年6月・10月 | Fraunhofer IZM-ASSIDと戦略的提携(6月)。経営執行委員の拡充(10月) | 量子向けの接合、経営の強化 |
| 2025年3〜9月 | ベトナムと覚書(3月)。LITHOSCALE XT(5月)。シンガポール子会社(5月)。EVG40 D2W(9月) | 拠点と計測・露光の拡充 |
| 2025年10月14日 | NNT会議(米国)で「30年のナノインプリント功績賞」を受賞。NILの発明(1995年、Stephen Chou教授)の30周年に合わせた授賞 | 会議が授与した賞(第三者の評価だが、顧客の評価ではない) |
| 2026年4月〜9月 | CEZAMATにUV-NIL装置を設置(4月)。Xanaduと光量子チップの提携(5月)。imecと200nmピッチの接合を発表(5月)。CPO向けの説明(9月)。NTT-ATと高屈折率樹脂の評価(9月) | 光・量子・AI向けへの展開 |
出典:出典1 https://www.evgroup.com/company/about-evg 出典29 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-ibm-sign-license-agreement-on-laser-debonding-technology-1556381389 出典22 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-brings-nanoimprint-lithography-to-full-scale-production-with-the-first-fully-integrated-300-mm-nanoimprint-lithography-track-system-1560234873 出典17 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-invests-30-million-euros-for-capacity-expansion-at-corporate-headquarters-in-austria-1561360823 出典18 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-completes-construction-of-state-of-the-art-cleanroom-facility-at-corporate-headquarters-1595234788 出典36 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-establishes-heterogeneous-integration-competence-center-1583142085 出典28 https://www.evgroup.com/company/news/detail/asm-pacific-technology-and-ev-group-join-forces-to-enable-industrys-first-ultra-precision-die-to-wafer-hybrid-bonding-solutions-for-3d-ic-heterogeneous-integration 出典23 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-unlocks-agile-and-efficient-production-scaling-with-next-generation-step-and-repeat-nanoimprint-lithography-system 出典24 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-launches-first-of-its-kind-step-and-repeat-mastering-services-for-nanoimprint-lithography 出典25 https://www.evgroup.com/company/news/detail/new-multi-functional-micro-and-nanoimprint-solution-from-ev-group-offers-unprecedented-flexibility-for-high-volume-optical-device-manufacturing 出典21 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-toppan-photomask-join-forces-to-accelerate-market-adoption-of-nanoimprint-lithography-for-photonics-manufacturing 出典26 https://www.evgroup.com/company/news/detail/korea-national-nanofab-center-nnfc-and-ev-group-sign-memorandum-of-understanding-on-cooperation-in-nanotechnology-and-iot-sensors 出典30 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-dymek-company-form-joint-venture-company-in-malaysia-to-enhance-regional-customer-support 出典15 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-completes-construction-of-new-manufacturing-v-building-at-corporate-headquarters-to-expand-production-capacity 出典27 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-fraunhofer-izm-assid-expand-partnership-in-wafer-bonding-for-quantum-computing-applications 出典16 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-announces-management-board-expansion-in-light-of-unabated-growth 出典32 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-vietnams-authority-of-information-technology-industry-and-ptit-sign-memorandum-of-understanding-to-advance-vietnams-semiconductor-capabilities 出典34 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-brings-digital-lithography-to-heterogeneous-integration-hvm-applications-with-lithoscaler-xt 出典31 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-forms-subsidiary-in-singapore-to-strengthen-local-customer-support 出典33 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-achieves-breakthrough-in-hybrid-bonding-overlay-control-for-chiplet-integration 出典19 https://www.evgroup.com/company/news/detail/evg-receives-grand-achievement-award-for-nanoimprint-technology 出典12 https://www.evgroup.com/company/news/detail/cezamat-boosts-advanced-photonics-rd-with-state-of-the-art-uv-nanoimprint-system-from-ev-group 出典13 https://www.evgroup.com/company/news/detail/xanadu-and-ev-group-partner-to-build-industrial-scale-photonic-quantum-hardware 出典10 https://www.evgroup.com/company/news/detail/imec-and-ev-group-demonstrate-wafer-to-wafer-hybrid-bonding-with-200nm-interconnect-pitch-and-record-high-overlay-accuracy 出典14 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-addresses-critical-manufacturing-challenges-for-next-generation-co-packaged-optics 出典11 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ntt-at-and-evg-demonstrate-the-feasibility-of-applying-high-refractive-index-resins-to-ar-optical-devices-using-the-smartnil-process
7. 今後の計画
上の内容は、すべて会社または共同プロジェクトの計画・意向です 未確定/将来。EVGは、成長の要因として、AI・高性能計算(HPC)向けのチップと、スマートフォン・ゲーム機・先進運転支援システム(ADAS)向けのセンサーを挙げ、ハイブリッド接合などの需要が強いと述べています(2024年10月) 事実。ただし、この需要の大きさを示す数値は公表されていません。
次はいずれも、本稿が確認した公式資料に記載がありません 未確定/将来。
売上・利益・受注残/研究開発費/装置の累計販売台数と製造能力/顧客別の売上/NILの量産ライン数/Tekscend Photomask JapanのNIL量産の実際の開始/公的資金の受取額/輸出管理などの規制が売上に与えた影響。
8. この会社はナノテクノロジーで何を目指しているか
会社が直接書いている部分と、本稿が読み取った部分を分けます。推測は、一次情報から本稿が読み取った解釈です。
| 読み取れること | 根拠となる一次情報 | 区分 |
|---|---|---|
| 新しい技術の探索で、先に市場を開く | 公式サイトのビジョンに、「新しい技術を最初に探り、次世代のマイクロ・ナノ加工の用途に応える」とある | 事実(会社の説明) |
| NILを、MEMS・光学・バイオから、半導体向け(光I/O、CPO)へ広げようとしている | NILの製品ページは、用途にバイオMEMS、マイクロ流体、光学素子を挙げる。2026年9月の発表は、NILと直接接合を組み合わせて、共封止光学(CPO)の製造課題に取り組むと説明 | 事実 |
| ハイブリッド接合を、AI・HPC向けの3D積層のスケーリング手段として推す | 2023年11月の発表:AI・HPCなどの需要で、フュージョン・ハイブリッド接合が「新しいスケーリングの手段」になったと説明 | 事実(会社の説明) |
| 研究機関と共同でロードマップを描き、装置の次世代を決める | imecの共同発表、14AMI(CFET)、ID2PPAC(2nm世代)などの参加プロジェクト | 事実/推測(装置の仕様への反映) |
| 拠点を顧客の近くに置く | シンガポール子会社(2025年5月)、マレーシアの合弁(2023年5月)、米国アリゾナの子会社の30周年(2025年9月) | 事実 |
「EVGは、NILの用途を、光・量子・半導体パッケージの方へ移そうとしている」という読みの根拠は、2026年の発表の並びです。4月のCEZAMAT(光回路用のUV-NIL)、5月のXanadu(光量子チップの接合)、9月のNTT-AT(AR導波路用の樹脂)とCPO(共封止光学)と、NILと接合を光デバイスの製造に結びつける発表が続いています 事実。一方、NILが半導体の回路そのもの(ロジックチップのパターン形成)に使われる、という記述は、本稿が確認した資料にはありません。そのため、NILの狙いは、先端ロジックの代替ではなく、光学・フォトニクスなどの大面積のナノ構造にある、と本稿は考えます 推測 未確定/将来。
9. ナノテクノロジー分野の提携マッピング
10. 提供している技術・製品・サービス
EVGの製品は、顧客のクリーンルームに据え付ける製造装置と、本社などでのプロセス開発サービスです 事実。以下は、会社の資料に書かれている内容です。性能値はメーカー公称であり、測定条件が公開されていないものは、そのことを書きます。
| 製品群 | 資料に書かれている内容 | 出典 |
|---|---|---|
| ナノインプリント(SmartNIL、HERCULES NIL、EVG7300) | SmartNILは、複数回使えるソフトスタンプを使う、UV露光の全面一括のインプリント。室温の工程で、凹凸のある面への押し付けや位置合わせもできる、材料は「オープンなプラットフォーム」と会社が説明。HERCULES NILは洗浄・塗布・ベークまで含む300mmのトラック装置。EVG7300はNIL・レンズ成形・レンズ積層を1台で | 5・22・25 |
| ホットエンボス装置 | 接合装置の技術を土台にした、熱で型を押し付ける方式。高い複製精度と説明 | 6 |
| ハイブリッド・フュージョン接合(GEMINI FB、BONDSCALE) | フュージョン接合は、誘電体層を室温・大気中で仮接合し、その後の熱処理で共有結合にする。ハイブリッド接合は、Cuパッドを同時に入れて電気的にもつなぐ。位置合わせは100nm未満、接続ピッチは1µm未満(会社の説明)。主な用途は、CMOSイメージセンサー、メモリ、3Dのシステム・オン・チップ | 7・8 |
| IR LayerRelease(EVG880) | 赤外レーザーがシリコンを透過することを利用し、無機の剥離層からナノメートル精度で薄い層を剥がす。ガラスの支持基板(有機接着剤は約300℃未満の工程に限られる)を使わずに済む、と会社が説明 | 9 |
| ダイ・ウェハー接合とその計測(EVG40 D2W) | チップレットやHBMの積層向け。EVG40 D2Wは、300mmウェハー上の全ダイのずれを高精度に測り、従来機(EVG40 NT2)より最大15倍の処理量と会社が説明 | 33 |
| マスクレス露光・レジスト処理(LITHOSCALE、EVG120など) | LITHOSCALE XTは、最大6つの露光ユニット、二波長のレーザー光源で、従来のLITHOSCALEの最大5倍の処理量と会社が説明。先端パッケージ・インターポーザ・パネル向け | 34 |
| プロセス開発サービス | NILPhotonics Competence Center、Heterogeneous Integration Competence Centerで、顧客が装置・プロセスを検証してから量産へ移す。大面積マスターの受託作成(S&R Mastering Shop)も | 36・24・14 |
会社の資料から、素材が効く場所は大きく3つ読み取れます。(1) NILのスタンプと樹脂:NTT-ATとの評価では、同社のUV硬化の高屈折率樹脂(NH700シリーズのNH762)とEVGの作業用スタンプ材(EVG NIL UV/AS5)の組み合わせで、350nmのライン&スペースを高精度に複製し、最小65nmの構造を持つメタ光学素子や、45°の傾斜格子も欠陥なく複製できたと報告されています。25回連続で押した後のパターン高さの変化は約2.2%で、離型性と寸法の安定性の指標として示されました 事実。ただし、これは特定の樹脂とスタンプの組み合わせの結果であり、他の材料に当てはまるとは限りません。(2) 無機の剥離層:IR LayerReleaseは、有機接着剤を使わず、無機の剥離層と赤外レーザーで層を剥がします。会社は、有機接着剤は約300℃未満の工程にしか使えないため、高温を含む前工程の用途に向かないと説明しています 事実。(3) 接合の界面:フュージョン接合は、表面の官能基を活性化して水素結合で仮接合し、その後の熱処理で共有結合に変えます。Cuパッドを含むハイブリッド接合では、誘電体とCuの表面状態、Cuの密度(imecの発表では25%の設計密度)が歩留まりに関わると読めます 推測。素材の基礎は、本シリーズの技術解説「自己組織化とナノインプリント」「リソグラフィとEUV」「ナノ計測」を参照してください。
出典:出典5 https://www.evgroup.com/technologies/nanoimprint-lithography-smartnil 出典22 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-brings-nanoimprint-lithography-to-full-scale-production-with-the-first-fully-integrated-300-mm-nanoimprint-lithography-track-system-1560234873 出典25 https://www.evgroup.com/company/news/detail/new-multi-functional-micro-and-nanoimprint-solution-from-ev-group-offers-unprecedented-flexibility-for-high-volume-optical-device-manufacturing 出典6 https://www.evgroup.com/products/nanoimprint-lithography 出典7 https://www.evgroup.com/technologies/fusion-and-hybrid-bonding 出典8 https://www.evgroup.com/products/bonding 出典9 https://www.evgroup.com/technologies/ir-layerrelease-technology 出典33 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-achieves-breakthrough-in-hybrid-bonding-overlay-control-for-chiplet-integration 出典34 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-brings-digital-lithography-to-heterogeneous-integration-hvm-applications-with-lithoscaler-xt 出典36 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-establishes-heterogeneous-integration-competence-center-1583142085 出典24 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-launches-first-of-its-kind-step-and-repeat-mastering-services-for-nanoimprint-lithography 出典14 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-addresses-critical-manufacturing-challenges-for-next-generation-co-packaged-optics 出典11 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ntt-at-and-evg-demonstrate-the-feasibility-of-applying-high-refractive-index-resins-to-ar-optical-devices-using-the-smartnil-process 出典10 https://www.evgroup.com/company/news/detail/imec-and-ev-group-demonstrate-wafer-to-wafer-hybrid-bonding-with-200nm-interconnect-pitch-and-record-high-overlay-accuracy
11. この企業が抱えるリスク
| リスク | 内容 | 区分 |
|---|---|---|
| 財務が見えない | 売上・利益・負債・受注残が公表されていないため、経営の安定性や投資の余力を、公式資料からは評価できない。本稿は推計しない | 事実(確認できなかった) |
| AI・HPC向けの需要への依存 | 会社は、成長の要因としてAI・HPCとセンサー(スマートフォン、ADAS)を挙げる。これらの投資が変動すれば、接合装置の需要も変わりうる | 事実/推測 |
| NILの市場の立ち上がり | NILの用途の中心は、ARの導波路、メタ光学、バイオなど、新しい市場。会社はNILを「最も有望で費用対効果の高い」ナノ加工と説明するが、市場規模の数値は示されていない | 事実(会社の主張)/推測 |
| 顧客・採用の開示が限られる | 会社の資料に社名が出る顧客は、研究機関・フォトマスク会社が中心。量産ラインの採用状況は確認できなかった | 事実(確認できなかった) |
| 外部技術への依存 | レーザー剥離の一部は、IBMのライセンス技術を取り込んでいる(2018年)。ライセンスの条件は非公表 | 事実 |
| 地政学・規制 | 完全子会社が中国・台湾・韓国にある。輸出管理などの具体的な影響は、本稿の確認範囲では確認できなかった | 事実/確認できなかった |
| 経営の集中 | 経営執行委員に創業者一族が名を連ねる(2024年10月)。株主構成と承継の方針は確認できなかった | 事実/推測 |
| 計画の実現 | imecとの接合ロードマップ、Xanaduとの量産化、100人超の採用などは、いずれも会社の計画・意向で、達成は確認されていない | 未確定/将来 |
出典:出典1 https://www.evgroup.com/company/about-evg 出典4 https://www.evgroup.com/imprint 出典16 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-announces-management-board-expansion-in-light-of-unabated-growth 出典5 https://www.evgroup.com/technologies/nanoimprint-lithography-smartnil 出典29 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-ibm-sign-license-agreement-on-laser-debonding-technology-1556381389 出典2 https://www.evgroup.com/company/global-presence 出典10 https://www.evgroup.com/company/news/detail/imec-and-ev-group-demonstrate-wafer-to-wafer-hybrid-bonding-with-200nm-interconnect-pitch-and-record-high-overlay-accuracy 出典13 https://www.evgroup.com/company/news/detail/xanadu-and-ev-group-partner-to-build-industrial-scale-photonic-quantum-hardware
12. 用語集
- ナノインプリントリソグラフィ(NIL)
- 型(スタンプ)を樹脂に押し付けてナノパターンを転写する技術。光学系で描くのではなく、型で複製する。
- SmartNIL
- EVGのNIL技術の名称。複数回使えるソフトスタンプと、UV硬化樹脂を使う。
- メタレンズ/メタ光学
- ナノ構造の並びで光を曲げる、薄いレンズ。ARメガネやカメラ向けに研究されている。
- ハイブリッド接合
- 誘電体どうしと、埋め込んだCuパッドどうしを同時に貼り合わせ、機械的・電気的に接続する技術。
- フュージョン接合
- ウェハーの誘電体層を直接貼り合わせる接合。熱処理で強い共有結合にする。
- D2W/W2W
- ダイ(チップ)をウェハーに貼る方式と、ウェハー同士を貼る方式。
- オーバーレイ
- 貼り合わせや重ね焼きの位置ずれの大きさ。小さいほど位置が合っている。
- ピッチ
- 配線やパッドが並ぶ間隔。小さいほど高密度。
- CPO(共封止光学)
- 光の入出力部分をチップのすぐ近くに実装する方式。データセンターの帯域と消費電力の改善が狙い。
- CFET
- 2種類のトランジスタを縦に積む次世代の構造。

13. 出典
- EV Group EVG公式サイト「About EVG」。会社概要、創業、従業員数、沿革、認証。 https://www.evgroup.com/company/about-evg
- EV Group EVG公式サイト「Global Presence」。本社と子会社の拠点。 https://www.evgroup.com/company/global-presence
- EV Group EVG公式サイト「R&D Projects」。参加する国際・国内の研究プロジェクト。 https://www.evgroup.com/company/rd-projects
- EV Group EVG公式サイト「Imprint」。発行主体と商業登記の記載。 https://www.evgroup.com/imprint
- EV Group EVG公式サイト「Nanoimprint Lithography (NIL) - SmartNIL」。技術の説明と特長。 https://www.evgroup.com/technologies/nanoimprint-lithography-smartnil
- EV Group EVG公式サイト「Nanoimprint Lithography」(製品)。UV-NIL装置とホットエンボス装置。 https://www.evgroup.com/products/nanoimprint-lithography
- EV Group EVG公式サイト「Hybrid and Fusion Bonding」。接合技術の説明。 https://www.evgroup.com/technologies/fusion-and-hybrid-bonding
- EV Group EVG公式サイト「Bonding」(製品)。接合装置の分類。 https://www.evgroup.com/products/bonding
- EV Group EVG公式サイト「IR LayerRelease Technology」。赤外レーザーによる層の剥離技術。 https://www.evgroup.com/technologies/ir-layerrelease-technology
- EV Group ニュース「Imec and EV Group demonstrate wafer-to-wafer hybrid bonding with 200nm interconnect pitch and record high overlay accuracy」(2026年5月28日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/imec-and-ev-group-demonstrate-wafer-to-wafer-hybrid-bonding-with-200nm-interconnect-pitch-and-record-high-overlay-accuracy
- EV Group ニュース「NTT-AT and EVG Demonstrate the Feasibility of Applying High-Refractive-Index Resins to AR Optical Devices Using the SmartNIL Process」(2026年9月)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ntt-at-and-evg-demonstrate-the-feasibility-of-applying-high-refractive-index-resins-to-ar-optical-devices-using-the-smartnil-process
- EV Group ニュース「CEZAMAT Boosts Advanced Photonics R&D with State-of-the-Art UV Nanoimprint System from EV Group」(2026年4月21日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/cezamat-boosts-advanced-photonics-rd-with-state-of-the-art-uv-nanoimprint-system-from-ev-group
- EV Group ニュース「Xanadu and EV Group partner to build industrial-scale photonic quantum hardware」(2026年5月5日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/xanadu-and-ev-group-partner-to-build-industrial-scale-photonic-quantum-hardware
- EV Group ニュース「EV Group Addresses Critical Manufacturing Challenges for Next-Generation Co-Packaged Optics」(2026年9月1日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-addresses-critical-manufacturing-challenges-for-next-generation-co-packaged-optics
- EV Group ニュース「EV Group Completes Construction of New Manufacturing V Building at Corporate Headquarters to Expand Production Capacity」(2023年11月28日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-completes-construction-of-new-manufacturing-v-building-at-corporate-headquarters-to-expand-production-capacity
- EV Group ニュース「EV Group Announces Management Board Expansion In Light Of Unabated Growth」(2024年10月24日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-announces-management-board-expansion-in-light-of-unabated-growth
- EV Group ニュース「EV Group Invests 30 Million Euros for Capacity Expansion at Corporate Headquarters in Austria」(2019年6月24日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-invests-30-million-euros-for-capacity-expansion-at-corporate-headquarters-in-austria-1561360823
- EV Group ニュース「EV Group Completes Construction of State-Of-The-Art Cleanroom Facility at Corporate Headquarters」(2020年7月20日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-completes-construction-of-state-of-the-art-cleanroom-facility-at-corporate-headquarters-1595234788
- EV Group ニュース「EVG receives Grand Achievement Award for nanoimprint technology」(2025年10月14日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/evg-receives-grand-achievement-award-for-nanoimprint-technology
- EV Group ニュース「Tekscend Photomask Japan Launches its new Nanoimprint Lithography line (NIL) Capabilities」(2025年7月)。HERCULES NIL 200mmの導入。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/tekscend-photomask-japan-launches-its-new-nanoimprint-lithography-line-nil-capabilities
- EV Group ニュース「EV Group and TOPPAN Photomask Join Forces to Accelerate Market Adoption of Nanoimprint Lithography for Photonics Manufacturing」(2022年9月19日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-toppan-photomask-join-forces-to-accelerate-market-adoption-of-nanoimprint-lithography-for-photonics-manufacturing
- EV Group ニュース「EV Group Brings Nanoimprint Lithography to Full-Scale Production with the First Fully Integrated 300-mm Nanoimprint Lithography Track System」(2019年6月11日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-brings-nanoimprint-lithography-to-full-scale-production-with-the-first-fully-integrated-300-mm-nanoimprint-lithography-track-system-1560234873
- EV Group ニュース「EV Group Unlocks Agile and Efficient Production Scaling with Next-generation Step-and-Repeat Nanoimprint Lithography System」(2021年6月8日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-unlocks-agile-and-efficient-production-scaling-with-next-generation-step-and-repeat-nanoimprint-lithography-system
- EV Group ニュース「EV Group Launches First-of-its-kind Step-and-Repeat Mastering Services for Nanoimprint Lithography」(2021年6月21日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-launches-first-of-its-kind-step-and-repeat-mastering-services-for-nanoimprint-lithography
- EV Group ニュース「New Multi-Functional Micro- and Nanoimprint Solution from EV Group Offers Unprecedented Flexibility for High-Volume Optical Device Manufacturing」(2022年1月18日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/new-multi-functional-micro-and-nanoimprint-solution-from-ev-group-offers-unprecedented-flexibility-for-high-volume-optical-device-manufacturing
- EV Group ニュース「Korea National Nanofab Center (NNFC) and EV Group Sign Memorandum of Understanding on Cooperation in Nanotechnology and IOT Sensors」(2022年9月23日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/korea-national-nanofab-center-nnfc-and-ev-group-sign-memorandum-of-understanding-on-cooperation-in-nanotechnology-and-iot-sensors
- EV Group ニュース「EV Group and Fraunhofer IZM-ASSID Expand Partnership in Wafer Bonding for Quantum Computing Applications」(2024年6月13日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-fraunhofer-izm-assid-expand-partnership-in-wafer-bonding-for-quantum-computing-applications
- EV Group ニュース「ASM Pacific Technology and EV Group Join Forces to Enable Industry's First Ultra Precision Die-to-Wafer Hybrid Bonding Solutions for 3D-IC Heterogeneous Integration」(2021年1月29日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/asm-pacific-technology-and-ev-group-join-forces-to-enable-industrys-first-ultra-precision-die-to-wafer-hybrid-bonding-solutions-for-3d-ic-heterogeneous-integration
- EV Group ニュース「EV Group and IBM Sign License Agreement on Laser Debonding Technology」(2018年3月14日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-ibm-sign-license-agreement-on-laser-debonding-technology-1556381389
- EV Group ニュース「EV Group and Dymek Company Form Joint Venture Company in Malaysia to Enhance Regional Customer Support」(2023年5月23日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-and-dymek-company-form-joint-venture-company-in-malaysia-to-enhance-regional-customer-support
- EV Group ニュース「EV Group Forms Subsidiary in Singapore to Strengthen Local Customer Support」(2025年5月19日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-forms-subsidiary-in-singapore-to-strengthen-local-customer-support
- EV Group ニュース「EV Group, Vietnam's Authority of Information Technology Industry and PTIT Sign Memorandum of Understanding to Advance Vietnam's Semiconductor Capabilities」(2025年3月26日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-vietnams-authority-of-information-technology-industry-and-ptit-sign-memorandum-of-understanding-to-advance-vietnams-semiconductor-capabilities
- EV Group ニュース「EV Group Achieves Breakthrough in Hybrid Bonding Overlay Control for Chiplet Integration」(2025年9月8日)。EVG40 D2W。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-achieves-breakthrough-in-hybrid-bonding-overlay-control-for-chiplet-integration
- EV Group ニュース「EV Group Brings Digital Lithography to Heterogeneous Integration HVM Applications with LITHOSCALE XT」(2025年5月26日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-brings-digital-lithography-to-heterogeneous-integration-hvm-applications-with-lithoscaler-xt
- EV Group ニュース「EV Group Highlights Hybrid Bonding, Lithography, and Support for U.S. Semiconductor Onshoring at SEMICON West 2025」(2025年9月30日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-highlights-hybrid-bonding-lithography-and-support-for-us-semiconductor-onshoring-at-semicon-west-2025
- EV Group ニュース「EV Group Establishes Heterogeneous Integration Competence Center」(2020年3月2日)。 https://www.evgroup.com/company/news/detail/ev-group-establishes-heterogeneous-integration-competence-center-1583142085
- EV Group EVG公式サイト(ロゴ画像の取得元)。 https://www.evgroup.com/
14. 主張と出典の対応表
最終更新:2026年10月9日/Troy Technical
本稿の内容は、EVGの公式サイト(会社概要・技術・製品・研究プロジェクト・Imprint)と、公式ニュースリリース(2018〜2026年)に基づきます。調査会社の市場推計・報道ベースの数値は使用していません。EVGは売上などの財務数値を公表しておらず、本稿は推計していません。「推測」と記した箇所は、一次情報から本稿が読み取った解釈であり、会社の公表内容ではありません。会社の計画・目標(提携の目標、採用、プロジェクトの目標など)は未確定の将来の見通しです。「市場をリード」などの表現は、会社の自己評価であり、第三者の統計ではありません。